CVD 聚晶金刚石薄膜制备技术与应用,预计2032年全球市场规模将达到46.34亿元 直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)通过直流电场激发等离子体,可低温沉积(甚至室温),适用于非催化基底,膜基结合力强,在光电探测器等领域应用潜力显著。
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